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業務案内
主要取扱製品
バリアン社製PVD装置
M2000/8
3000Series
m2i
M2000/8
3180, 3190, 3280, 3290
XM-90, XM-8
MB2-830
ノベラスシステム社製CVD装置
Consept one
Consept two
Concept one (D, W)
Concept two (ALTUS, SEQUEL, SPEED)
業務内容
半導体技術部
装置トラブル発生後のオンコールサービス
装置移設作業(国内・国外)
引取及び代替修理
装置改造作業
中古装置販売、買取
RF電源、スパッタ電源引取修理
部品販売
CVD:Novellus社製
(CONCEPT-1, CONCEPT-2)
PVD:Varian社製
(m2i、M2000/8、3180、3190、3280、3290、XM-90、XM-8、MB2-830)