PRODUCT
製品紹介

MST3000 Controller

新開発のコントローラー

FLUKE1720/1722コントローラは生産中止から数年を経過しております。 装置メーカーであるノベラスシステムズ社では今日まで修理サービスを行って参りましたが、残念ながら5.25インチハードディスクドライブ及びタッチスクリーンの入手が困難となって参りました。また、メーカーであるFLUKE社はこのコントローラをサポートしていくことを中止しております。よって、このコントローラを今後修理する事は出来なくなりました。

お客様に3000シリーズスパッタリング装置を長くお使い頂く為に、我々セミテックインターナショナルは今までお使いのFLUKE1720/1722コントローラから新開発のコントローラ "MST3000 CONTROLLER" に変更することをお勧めいたします。このコントローラは3180，3190，3280，3290シリーズにてご使用になれます。

この "MST3000 CONTROLLER" は今までお使い頂いたFLUKE1720/1722コントローラと同様に、お客様がお使い易い様に形状、画面等を継承しております。
すべての信号系、電源系インターフェイスはFLUKE1720/1722コントローラと同じです。

特徴

1. 機 能

- System version : 3290 STQ 1.0 / 3290 STD 1.0 / MNI-Q 4.0 / CONMAG-I 3.0 etc
- Include Function of Fluke controller

- Display

• Wafer Number
• Process Status
• RF Power : Fwd Power, Ref Power
• Deposition Power : Voltage, Current, Power
• Heater Temperature
• Argon Pressure

- Interlock

• Deposition Power
• Heater Temp.
• Argon Pressure

- Logging

• Recipe Data
• Diagnostics Data
• Error Data

2. 容易な操作環境

- 最小限のトレーニング、今までのFLUKESD1720/1722コントローラと同様な感覚です。
- "MST3000 CONTROLLER" 内のハードディスクはシステムブート用、レシピロード用フロッピーディスクを必要としません。

3. 容易なアップグレード

最小のダウンタイムにてアップグレードできます。