株式会社セミテックインターナショナル

PRODUCT
製品紹介

XGemPro GEMドライバー

  • SECS通信ドライバー
  • SEMI E4、E5、E37の対応
  • ActiveX基盤のOCX形態
  • 半導体及び平板ディスプレー装備のための標準通信プロトコルの対応
  • 64ビットの対応

XGemPro

XGemPRO GEMドライバは、半導体装置のGEM通信/制御をより簡単に対応できるGEM通信用ドライバで SEMI E30 GEM仕様を対応します。複雑なGEMシナリオと関連されたデータをコンフィギュレーションツール上で 簡単に定義してGEM通信/制御を自動的に遂行することにより開発費用を節約して生産性を向上させます。

XGem300Pro

XGem300PROはXGemPROを基本に含んでおり、300mmラインで使用するシナリオを追加対応する製品です。 SEMI E30、E40、E87、E90、E94仕様を対応します。 XGem300PROはCarrier、Substrate、Control Job、 Process JobなどのObjectを生成、管理して使用者が簡単に300mmのシナリオを対応することが可能です。

特徴や主要機能

1) XGemPro特徴
  • 特定のメッセージに対するHeader Onlyログ機能を提供
  • Run Timeの設定対応
  • ActiveX基盤のOCX形態
  • SECS-I及びHSMS-SS同時の対応(コンフィギュレーションツールで設定変更)
  • 様々な開発ツールの対応(Visual C++、Visual Basic、C#、Delphi、C++Builder)
  • SECS通信エラー自動検査後Stream 9系列メール自動送信
  • 1つのライセンスで8つのSECS通信可能
2) XGem300Pro特徴
  • XGemPRO基盤(基本特徴同様)
  • E40(PM)、E87(CMS)、E90(STS)、E94(CJM)対応
  • GEM、300mm SECSメールの構成及び処理
  • GEM、300mmのシナリオで使用する基本データ自動生成
3) XComPRO 対応標準
  • SEMI E87(Specification For Carrier Management)
  • SEMI E94(Specification For Control Job Management)
  • SEMI E30(Generic Model For Communications And Control OfManufacturing Equipment)
  • SEMI E4(SEMI Equipment Communication Standard 1 Message Transfer)
  • SEMI E5(SEMI Equipment Communication Standard 2 Message Content)
  • SEMI E37(HIGH-SPEED SECS Message Services)
  • SEMI E40(Standard For Processing Management)
  • SEMI E90(Specification For Substrate Tracking)
4) XGemPro主要機能
  • State Model(Communications State Model、Control State Model)自動対応
  • シンプルなDynamic(Fixed)Event Report登録及び設定
  • 使用者のリアルタイムのデータをTraceメッセージで自動処理
  • Spooling Stateによるメッセージ管理及び伝送
5) XGem/XGem300使用例

推奨システム環境

  • CPU : ペンティアムデュアルコア以上
  • Memory : 3GB以上
  • OS : Windows XP SP2/Windows Server 2003 SP2/Windows Server 2008/Windows Vista SP1/Windows 7/Windows 8/Windows 8.1/Windows10(コンフィギュレーションツールはMicrosoft®.NET Framework 4.0以上動作)
  • Protection Key用Port : Parallel Port又はUSB Port

※USB/ParallelタイプProtection Keyの保証期間は3年です。
保証期間後に不具合が発生した場合は、 有償にて交換できます。この場合は新品価格より安価で入手可能です。

製品Line-Up

  • XGemPRO : SEMI E30(GEM)対応
  • XGem300PRO : SEMI E30(GEM)を基本的に対応し、E40(PM)、E87(CMS)、E90(STS)、E94(CJM)対応

XComPRO SECS DriverはSECSシステム実装とテストのための便利なツールを提供しています。

コンフィギュレーションツール

  • GEM 300mmで必要なデータを設定
  • Carrier, Substrate, Process Job, Control Job のパラメータ、バリアブル、イベント、コレクションイベントント設定
  • 300mm State Modelのコレクションイベント設定

シミュレーターツール

  • メッセージシナリオ機能(メッセージの順次自動発生及びLoop機能など)
  • 応答メッセージ自動Reply
  • メッセージアイテム別値を設定
  • メッセージ別通信テスト